аЯрЁБс;ўџ ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџ§џџџџџџџ ўџџџўџџџўџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџRoot Entryџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџ ЛЬсАСт\pCalc BАaР=œЏМ=@ 8X@"Зк1мCalibri1ШџArial1ШџArial1ШџArial1мМCalibri1мCalibri ЄGeneralЅ#,##0.00 І#,##0;Ї6_(\$* #,##0.00_);_(\$* \(#,##0.00\);_(\$* \-??_);_(@_)рЄѕџ Р рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рЄ Р р+ѕџ №Р р)ѕџ №Р р,ѕџ №Р р*ѕџ №Р р ѕџ №Р рЄ (Р рЄ"8Р рЄ*Р рЄ(Р рЄ (Р рЅ Р рЄ(Р рЄ"8Р рЄ(Р рЄ(8Р рЄ Р рЄ"Р рЄ"Р рІ"Р рЇ"Р “€џ“€џ“€џ“€џ“€џ“€џ`…L berg mark stephen…Шberg mark stephen-1ŒССTыb№Z№ 3 №П Р@@ё їќЇ< Berg Mark StephenFORM 4ўUNITED STATES SECURITIES AND EXCHANGE COMMISSION Washington, D.C. 20549 STATEMENT OF CHANGES IN BENEFICIAL OWNERSHIP Filed pursuant to Section 16(a) of the Securities Exchange Act of 1934 or Section 30(h) of the Investment Company Act of 1940eOMB APPROVAL OMB Number: 3235-0287 Estimated average burden hours per response: 0.5 OMB APPROVALROMB Number: 3235-0287 Estimated average burden hours per response: 0.5 OMB Number: 3235-0287Estimated average burdenhours per response:‰Check this box if no longer subject to Section 16. Form 4 or Form 5 obligations may continue. See Instruction 1(b).PTable I - Non-Derivative Securities Acquired, Disposed of, or Beneficially Owned&1. Title of Security (Instr. 3)*2. Transaction Date (Month/Day/Year)82A. Deemed Execution Date, if any (Month/Day/Year)%3. Transaction Code (Instr. 8)H4. Securities Acquired (A) or Disposed Of (D) (Instr. 3, 4 and 5)k5. Amount of Securities Beneficially Owned Following Reported Transaction(s) (Instr. 3 and 4)?6. Ownership Form: Direct (D) or Indirect (I) (Instr. 4)<7. Nature of Indirect Beneficial Ownership (Instr. 4)CodeVAmount (A) or (D)Price Common StockDI!by Family Trust (Officer Trustee) 03/30/2022S by Family Trust (Spouse Trustee)џ ‚ cc ЛЬ d-Cыт6?_€%,С*+‚ƒ„&ffffffц?'ffffffц?(ш?)ш?Ё"d,, Ж` Ж`р? Ж` Ж`р?U} ЬR} гd} Й } ЬR} А} Й } А} Й } А} Й } А, @, @,,,  @ , @ ,,,,,,§ О§ § § § § § О §  §  О  §  О ~ Ы§ § § О § § О §   О   ~  Ы§ О § § О §  О ~ Ы§  § § § О § § О §  О  ~ Ы§ О § § О §  О ~ Ы§ О § § О §  О ~ ЫхЂ     ьP№H№№0№( № №>Ж@<dggџџџџ ЛЬ d-Cыт6?_€%,С*+‚ƒ„&ffffffц?'ffffffц?(ш?)ш?Ё"d,, Ж` Ж`р? Ж` Ж`р?U} Р&} Т*} Х8} З} З} Й } З} Й } гd} Ч?} Ч<} А  , @ , , , ,§  О §  § § § § О § §  §  О §  §  О §  §  §  § О!!!!!!!~ "Жй§  !§ О!!!!!!!~ ":-§  !§  § § !!§ !!~ "'§ !#сzЎG p@~ "B §  !§  х ьP№H №№0№( № №>Ж@<dggџџџџ ўџџџўџџџўџџџ ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџўџ џџџџРFMicrosoft Excel 97-TabelleBiff8ўџр…ŸђљOhЋ‘+'Гй0|8 @ L X dpщ§0@@@ФГljEи@ФГljEиўџеЭеœ.“—+,љЎDеЭеœ.“—+,љЎ\щ§ HШарьєќ AppVersion DocSecurityHyperlinksChangedLinksUpToDate ScaleCrop ShareDocщ§12.0000 Root EntryџџџџџџџџРFWorkbookџџџџтCompObjџџџџџџџџIOle џџџџџџџџџџџџSummaryInformation(џџџџџџџџЌDocumentSummaryInformation8џџџџџџџџџџџџhџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџ