аЯрЁБс;ўџ ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџ§џџџџџџџ ўџџџўџџџўџџџўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџRoot Entryџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџ ЛЬсАСт\pCalc BАaР=œЏМ=@ 8X@"Зк1мCalibri1ШџArial1ШџArial1ШџArial1мМCalibri ЄGeneral3Ѕ._(\$* #,##0_);_(\$* \(#,##0\);_(\$* \-_);_(@_) І#,##0рЄѕџ Р рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рѕџ єР рЄ Р р+ѕџ №Р р)ѕџ №Р р,ѕџ №Р р*ѕџ №Р р ѕџ №Р рЄ (Р рЄ (Р рЅ $Р рІ $Р рЄ(8Р рЄ(8Р “€џ“€џ“€џ“€џ“€џ“€џ`…>base salaries…"€ longterm incentive plan pr…"І2021 annual cash bonus proŒССTыj№b№( 3 №П Р@@ё їќyBase SalariesNEO2022 Base SalaryScott D. SheffieldRichard P. Dealy Neal H. Shah Mark S. BergChris J. Cheatwood J.D. Hall(Long-Term Incentive Plan Program Awards.,Total Number of Performance Units Awarded(Number of Restricted Shares/RSUs Awarded /2021 Annual Cash Bonus Program Incentive Payout"Amount of 2021 Cash Bonus Awardџ Ђ cc ЛЬ d-Cыт6?_€%,С*+‚ƒ„&ffffffц?'ffffffц?(ш?)ш?Ё"d,, Ж` Ж`р? Ж` Ж`р?U} А ,,,,,, , ,§ О§ О § О § О ~ ‚XO§ О ~ bм,§ О ~ ‚f#§ О ~ З § О ~ т§ § О ~ З  хz    ьP№H№№0№( № №>Ж@<dggџџџџ ЛЬ d-Cыт6?_€%,С*+‚ƒ„&ffffffц?'ffffffц?(ш?)ш?Ё"d,, Ж` Ж`р? Ж` Ж`р?U} А , @,,,, , ,§  О§ О §  О §  О § О ~ оМ§  § О ~ тј~ ъЅ§ О ~ r|~ іR§ О ~ в†~ тY§ О §   §   § О ~ в† ~ тY хВ      ьP№H №№0№( № №>Ж@<dggџџџџ ЛЬ d-Cыт6?_€%,С*+‚ƒ„&ffffffц?'ffffffц?(ш?)ш?Ё"d,, Ж` Ж`р? Ж` Ж`р?U} А , @,,,, , ,§ О§ О § О § О ~ Тˆ§ О ~ 2>§ О ~ Z|&§ О ~ *'§ О ~ r& § О ~ *' хz    ьP№H0№ №0№( № № >Ж@<dggџџџџ ўџџџўџџџўџџџ ўџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџџўџ џџџџРFMicrosoft Excel 97-TabelleBiff8ўџр…ŸђљOhЋ‘+'Гй0|8 @ L X dpщ§0@@@+р& и@+р& иўџеЭеœ.“—+,љЎDеЭеœ.“—+,љЎ\щ§ HШарьєќ AppVersion DocSecurityHyperlinksChangedLinksUpToDate ScaleCrop ShareDocщ§12.0000 Root EntryџџџџџџџџРFWorkbookџџџџшCompObjџџџџџџџџIOle џџџџџџџџџџџџSummaryInformation(џџџџџџџџЌDocumentSummaryInformation8џџџџџџџџџџџџhџџџџџџџџџџџџўџџџџџџџџџџџџџџџўџџџ